匀胶机直销
2020-02-01 

匀胶机直销匀胶机是在高速旋转的基片上,滴注各种胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的装置,膜的薄厚取决于匀胶机的倒车和溶胶的黏度。概述该设备根本用以晶片涂光刻胶,有全自动、手动和自行三种专门的学问方法。送片盒中的晶片,自动送到承片台上,用真空吸附,在主轴电机的拉动下旋转,转速100-9900转/分(±10转/分State of Qatar,起动加快度可调。每道程序的持续时间,转速、加速度、烘烤温度、烘烤时间、预烘时间等工艺参数均可由此编制程序序调控制。匀胶机有二个或八个滴胶系统,可涂差异品类的光刻胶。滴胶的艺术有微微芯片静止或旋转滴胶。随着晶片尺寸的增大,现身了多点滴胶或胶口移动式滴胶。胶膜厚度平日在500-1000nm,同大器晚成微晶片和片与片间的相对误差小于±5nm。滴胶泵有波纹管式和薄膜式三种,并有流速計实行恒量调整。对涂过胶的微微电路有内外刮边作用,去掉晶片正面与反面面多余的光刻胶。烘烤工位,有隧道式远红外加热,微波急速加热以至电阻加热的热板炉等。涂胶后的晶片要按一定的升温速率举行烘干。烘烤进度在密封的炉子中开展,通过抽真空消弭挥发出去的有毒物质。前烘截止后,将晶片送入收片盒内。主轴转速的平稳和重复性是调整胶膜厚度均匀性和大器晚成致性的重视,起动加快度的轻重缓急是决定是或不是能将分歧粘稠度的光刻胶甩开并使胶均匀的决定因素。自动职业章程的匀胶机中到场预涂增粘剂的冷板和热板工艺模块,以拉长光刻胶和晶片的附着力。为了进步临蓐率,国外已经济研讨制出两种工艺模块任性组合的积木式布局,有的还带有胶膜自动度量和督察装置。购置能力从其规律来讲,能够看出选购匀胶机要求专心的几个细节旋转速度转载的快慢和调节精度直接关乎到旋涂层的厚薄调控和膜层均匀性。借使标示的转速和发动机的实际上转速基值误差一点都不小。某个匀胶机只好提供转账范围,并不可能纯粹标定实时的转折。进口的匀胶机尽管超越八分之四能标定转速,然而好多倒车精度未有正规断定。真空吸附系统的构造塑料泵必供给无油的,因为别的的油污都恐怕杜绝真空中交通管理道,倘诺真空吸附力收缩,会产生基片吸附不住而发出"飞片"的景况,还有恐怕会让滴胶液不慎步向真空中交通管理道种类形成完全窒碍材料的选项对于半导体化学工业业生行业的行使来讲,材料的选拔特别关键,大多数匀胶机选择的是不锈钢也许普通塑料材料,因为这种质感的本金异常低,不锈钢的对于每一样化学工业胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较高温度和压力下易爆发变形。纵然这种变形引起四月泡的职位失去水平的话,将会招致旋涂时,时高时低的震憾状态。自然不能够获取好的旋涂效果。旋转涂覆技艺旋转涂覆能力所使用的装置是匀胶机。匀胶机有很三种名号,英语叫Spin Coater或然Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总来讲之,他们原理都以如出风度翩翩辙的,即在高速旋转的基片上,滴注各个胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视分歧胶液和基片间的粘滞周详而各异,也和旋转速度及时间关于。从其规律来讲,匀胶机有以下三个特征。旋转速度倒车的速度和调控精度直接关系到旋涂层的厚薄调节和膜层均匀性。真空吸附系统水泵日常选择无计量泵,即平日说的干泵,因为任何的油污都也许杜绝真空中交通管理道,如若真空吸附力收缩,会引致基片吸附不住而爆发"飞片"的状态,还大概会让滴的胶液不慎踏向真空中交通管理道系列变成完全杜绝。有的匀胶机通过联合浮动机制,当真空吸附力远远不够时不会起来转动。那样可实用制止滴的胶液不慎踏入真空中交通管理道种类。本公司主营 不锈钢采水器,罐底焊缝真空检查实验盒,读数仪,八级空气原生生物采样器,继电器综合测量试验仪,双波长扫描仪,涂层测厚仪,土壤磨粉机,钢化玻璃表面平整度测验仪,声音传感器,便携式电测转速计,网口计数器,腐蚀率仪,便携式划痕仪,凝固点测量检验仪,水质量检验查实验仪,在线氨气测量试验仪,涂层测厚仪,涂层测厚仪,土壤球磨机,数字展现式温度计,气体采集样板泵,陶瓷抗冲击试验机,全自动结晶点测量检验仪,药物凝固点测验仪,干簧管测试仪,恒热水浴箱,柴油根转,气体采样泵,钢化玻璃测量试验仪,水质检测仪,PM2.5测验仪,可吸入颗粒物检测仪,高频热合机,应变调控三轴仪,牛奶体细胞检查测试仪,氪气浓度检查评定仪,土壤水分电导率测量试验仪,场强仪,采撷箱,透色比测定仪,毛细吸水时间测定仪,氧化还原电位计 测振仪,生龙活虎氧化碳二氧化碳检查测试仪,CO2解析仪,示波极谱仪,黏泥含量测量试验仪,汽车运营电源,自动电位滴定仪,便携式测量温度仪,氧化锆深入分析仪,干簧管测验仪,精密电导率仪,TOC水质深入分析仪,微机可塑性测定仪,风向站,全自动点样仪,土壤氧化还原电位计,数字测量温度仪,便携式总磷测验仪,腐蚀率仪,恒热水浴箱,余氯检验仪,自由膨胀率仪,离心杯,水泥饱和蒸汽压装置,颗粒强度测量检验仪,高斯计,自动涂膜机,安全阀研磨工具,气象局,动觉方位仪,暗适应仪,气味搜集器,雨量计,四合一气体解析仪,乳化液浓度计,溶解氧仪,温度度量仪,薄层铺板器,温度记录仪,老化仪,噪音检查评定仪,恒温恒湿箱,分体电阻率测量试验仪,初粘性和持粘性测验仪,红外二氧化碳解析仪,氢灯,动觉方位仪,恒温动物手術台,冷却风机,油膏酸价检查实验仪,粘数测定仪,菌落计数器,气象局,雨量计,凯氏定氮仪,荧光增白剂,集团秉承“客户至上,毛遂自荐”的经营观念,百折不回“客户##”的规格为广大客商提供非凡的劳动。招待惠顾!东京(Tokyo卡塔尔国恒奥德仪器仪表有限公司交换人:小文 /和睦提示:看不到图片的付加物能够来电咨询

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